半導体製造装置向けポンプ筐体

| ポンプ筐体 | |||
|---|---|---|---|
| 工法 | 砂型鋳造 | 材質 | ADC12 |
| 業界 | 半導体製造装置 | ロット数 | 200個 |
当事例の特徴
半導体製造装置に冷却水を供給するポンプの筐体(215×215×220 mm、材質 ADC12)は、従来は砂型鋳物で製造されていました。しかし、アンダーカット部があるため鋳造後に 7.5 mm 以上の大掛かりな追加工が不可避で、その加工代と巣(鋳巣)による歩留まり低下がコストを押し上げていました。しかもこの部位は気密性が求められるため、ほんのわずかな巣でもリークにつながるリスクがあり、品質面でも大きな課題を抱えていました。
そこで当社は、真空引きと局部冷却を組み合わせた特別なダイカスト法を採用し、湯回りとガス抜けを最適化。これにより内部欠陥を極限まで抑え、追加工量を最小限(必要箇所のみの薄削り)に抑制しました。量産立ち上げ時には X 線 CT スキャンで内部品質を可視化した検証データを提示し、全数リーク試験も実施して気密性を保証しています。
結果として、製造コストを従来比 50 %削減しながら、鋳巣起因の不良を大幅に低減。月産 200 個という比較的小ロットでも 30 日リードタイムを維持し、安定供給を実現しています。


